一种金字塔绒面上优化均匀性化的工艺方法.pdfVIP

下载本文档

27
0
约9.34千字
约 8页
2023-06-07 发布于四川
举报
版权申诉

一种金字塔绒面上优化均匀性化的工艺方法.pdf

1、本文档共8页，其中可免费阅读7页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种金字塔绒面上优化均匀性的工艺方法，包括以下步骤：步骤S1，提供太阳能电池原始硅片，对原始硅片进行制绒生长金字塔绒面，再进行绒面清洗预处理；步骤S2，对硅片进行扩散工艺处理；步骤S3，对硅片表面抛光处理；步骤S4，对硅片表面采用双向交替的气流方式沉积氧化铝膜。本发明采用了双向交替的进气方式生长氧化铝膜，可以把氧化铝膜的均匀性大幅提高，在金字塔绒面结构下氧化铝膜的均匀性同样可以控制在3%以内，可以把氧化铝膜更强的场钝化效果发挥出来，降低俄歇复合、SRH复合和表面复合，大大提高了钝化效

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838144 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110087977.1 C23C 16/455 (2006.01) (22)申请日