从衬底斜面边缘区域去除金属沉积物的方法以及使用该方法的设备.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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从衬底斜面边缘区域去除金属沉积物的方法以及使用该方法的设备.pdf

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本发明公开了一种从衬底斜面边缘区域去除金属沉积物的方法，包括：在衬底的斜面边缘区域上沉积牺牲层；在至少牺牲层上沉积金属层；在牺牲层上至少蚀刻金属层；以及将衬底放置在具有湿蚀刻流体的湿蚀刻设备中，以去除所述衬底背面的所述牺牲层和所述牺牲层上的所述金属层。该方法实现了在衬底的斜面边缘区域处有效且彻底地去除重金属元素而不会损坏衬底。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864000 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 20191