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一种晶圆光刻胶剥离设备.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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一种晶圆光刻胶剥离设备.pdf

    本发明公开了一种晶圆光刻胶剥离设备，其结构包括加工平台、机体、控制面板，加工平台镶嵌设于机体的内侧端面，机体外侧端面镶嵌卡合安装着控制面板，控制面板位于加工平台的外侧端面，闭合机构上端面设有吸盘机构，在下沉时晶圆片会对吸盘机构形成挤压，使其左右两端的第一空腔向下凹陷，当停止对晶圆片施力时，第一空腔则会在第一磁块的磁性相斥与空气充盈下，向上顶起晶圆片，从而与卡合块相互配合对晶圆片形成卡合。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112908928 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202110225756.6 (22)申请日 2021.03.01 (71)申请人 尤古嘉 地址 200

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