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一种改善聚酰亚胺材料涂覆效果的工艺.pdfVIP

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  • 2023-06-09 发布于四川
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一种改善聚酰亚胺材料涂覆效果的工艺.pdf

    本发明公开了一种改善聚酰亚胺材料涂覆效果的工艺，属于半导体行业光刻技术领域。该方法步骤：(1)将晶圆送入涂胶单元，喷涂光阻稀释剂RRC，以增加光刻胶流动性；(2)使晶圆旋转，在晶圆表面形成一层RRC膜；(3)使光刻胶喷嘴喷涂光刻胶，喷涂光刻胶后，先使晶圆在转速V1时高速旋转T1时间，使晶圆上光刻胶铺展，该步骤决定了胶膜的厚度；然后降低晶圆转速至V2并旋转T2时间，使晶圆边缘光刻胶迅速回流；涂覆完后，晶圆边缘胶膜厚度均匀性良好；(4)晶圆传入热盘中进行烘烤，再经曝光、显影和冷盘冷却后，传回片盒。本

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111722472 A (43)申请公布日 2020.09.29 (21)申请号 202010588508.3 (22)申请日 2020.06.24 (71)申请人 沈阳芯源微电子设备股份有限公司

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