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本发明涉及一种半导体工艺中的智能图像跟踪系统。本发明包括：图像捕获单元，其包括布置在半导体装置的多个点处的相机，以捕获由半导体装置执行的对对象进行的处理过程；装置控制器，其被配置为控制半导体装置的操作并发送作为用于识别对象的信息的对象识别信息、对象的映射到时间信息的位置信息、以及指示半导体装置的当前操作状态的操作状态信息；以及网络图像记录设备，其被配置为执行控制以将相机识别信息添加到从图像捕获单元接收到的图像信息中并将添加有相机识别信息的图像信息存储在图像数据库中，并且被配置为执行控制以将从装置
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112912926 A
(43)申请公布日 2021.06.04
(21)申请号 201980069006.5 (74)专利代理机构 北京市中伦律师事务所
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