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本发明公开了一种晶圆涂膜设备，其结构包括机体、膜液管、检修门、控制机、输入台，膜液管嵌入于机体顶面，检修门两侧与机体右侧铰接连接，控制机嵌入于机体正面，输入台背面焊接于机体正面，本发明在正常状态下，通过密封盖与停留轮的双重配合，避免正光阻剂挥发出来的丙酮气体飘散到外界，当需要进行添加正光阻剂的时候，通过拉扯停留管内的停留轮，在停留轮打开的时候，抽走停留轮内的气体，并使底部密封，顶部开启，加料的过程中，不会有丙酮气体逸出，而添加结束后即可快速将顶部密封，使添加者始终不会与丙酮气体有接触，进而避免操
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112974163 B
(45)授权公告日 2021.11.30
(21)申请号 202110147427.4 (56)对比文件
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