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一种具备高导热性超黑材料的制备方法，属于功能材料与器件制造领域。采用CVD方式在原始载体上沉积金刚石膜，然后依次完成研磨、抛光等处理工序；随后在CVD金刚石膜表面溅射沉积催化金属层，并通过等离子体刻蚀加热处理工艺实现纳米催化颗粒的制备；最后在金刚石膜成表面进行碳纳米管阵列的制备，获得尺寸及光吸收率符合要求的金刚石/碳纳米管超黑材料。本发明元件基于金刚石为载体，具有化学性质稳定、导热率高、光吸收性强等特点。在中间过程采用物理气相沉积镀膜和表面氢等离子体刻蚀处理，解决了在金刚石衬底上碳纳米管阵列密度
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112981364 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202110159705.8 C23C 14/02 (2006.01)
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