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- 2023-06-11 发布于四川
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本发明公开一种自动化智能功率模块生产线,包括原料预处理设备组、至少一条第一加工设备线、自动贴片机、回流炉和至少一条第二加工设备线;原料预处理设备组包括基板上料设备、清洗设备、基板运输装置和第一输送装置;第一加工设备线包括第一基板缓存设备、锡膏印刷设备/点胶设备、第一载具转换设备和自动粘晶工序组,自动粘晶工序组通过输送轨道连接自动贴片机,自动贴片机通过输送轨道连接回流炉,清洗设备与第一基板缓存设备之间设有第二输送装置;第二加工设备线包括第二载具转换设备、松香清洗设备、第三载具转换设备和键合工序组,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112967964 A
(43)申请公布日 2021.06.15
(21)申请号 202110354676.0
(22)申请日 2021.03.31
(71)申请人 广东汇芯半导体有限公司
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