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一种清洁热处理装置，将上层部(13)、中层部(14)和下层部(15)分离，在中层部设置处理部(30)，在从导入部(31)将处理用气体引导至载置于旋转工作台(32)并旋转的被处理物(x)并对其进行处理之后，将该气体从导出部(35)引导至上层部或下层部，另一方面，在上层部和下层部中的任一方设置利用热风用风扇(23)对被加热装置(21)加热后的气体进行送风的加热部(20)，在另一方设置利用冷风用风扇(44)对被冷却装置(43)冷却后的气体进行送风的冷却部(40)，并且在加热部和冷却部中的任一方设置过滤
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113108599 A
(43)申请公布日 2021.07.13
(21)申请号 202110022398.9 F27D 3/12 (2006.01)
(22)申请日 20
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