1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种多晶硅还原炉布棒方法、环状布棒多晶硅及用途.pdfVIP

  • 11
  • 0
  • 约7.23千字
  • 约 8页
  • 2023-06-13 发布于四川
  • 举报

一种多晶硅还原炉布棒方法、环状布棒多晶硅及用途.pdf

    本发明属于多晶硅生产技术领域，公开了一种多晶硅还原炉布棒方法、环状布棒多晶硅及用途，硅棒排布呈圆环状排布，圆环排布中任一圆环中任一硅棒距离该圆环的几何中心距离为R；每一圆环形成的几何图形在底盘呈正n边形分布；圆环排布中任一圆环中任一硅棒距离该圆环的几何中心距离R可以表示为与硅棒形成的正多边形相关的几何参数的代数式。本发明的布棒方式在相同数目的情况下排列更紧密，硅棒布置符合工艺参数的要求，且应用该排布方式时降低还原炉造价成本，降低生产能耗，达到减少生产成本的目的；能够在不改变还原炉内硅棒数的基础上

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113073385 A (43)申请公布日 2021.07.06 (21)申请号 202110348420.9 (22)申请日 2021.03.31 (71)申请人 昆明理工大学 地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >