半导体测试薄层厚测量.pptxVIP

半导体测试薄层厚测量; 多数半导体器件和集成电路的主体结构，由各种形状和尺寸的薄层构成。这些薄层主要有: 二氧化硅SiO2 氮化硅SiNx 掺杂扩散层/离子注入层 Si外延层 金属膜(Al、Cu等）/多晶硅膜 这些薄层很薄，一般在μm 范围内。;二氧化硅SiO2 、氮化硅SiNx的用途 具有绝缘、抗腐蚀性强、易于制备等特点，常在半导体器件制造中用作掺杂阻挡层、表面绝缘层、表面钝化层、绝缘介质等，是硅器件制造中最为广泛应用的一种膜层。;第4页/共35页;一些晶体管的平面制作工艺。 ;二、薄膜厚度测量的主要方法;（一）比色法;图4.2 颜色与厚度的对应关系 ;（二）干涉条纹法 ;;;;;（三）椭偏仪测量法;;第16页/共35页; 偏振光的应用 1、汽车车灯 　　 2、观看立体电影 　　;第18页/共35页;第19页/共35页;利用相位补偿方法可以测出;图4.13、图4.14 ;4、椭偏仪的测量过程与方法;探测器 透镜 检偏器 样品 ?波片 起偏器 激光器;全波长椭偏仪 ;二、外延层厚度、扩散层和离子注入层深度的测量;（一）磨角染色法 ;;（三）扩展电阻分布测量法;三、导电薄膜厚度测量;;台阶仪/探针轮廓仪 可测X-Y-Z三维方向的轮廓; 台阶仪/轮廓仪是通过仪器的触针与被测表面的滑移进行测量的，是接触测量。其主要优点是可以直接测量某些难以测量到的零件表面，如孔、槽等的表面粗糙度，又能直接按某种评定标准读数或是描绘出表面轮廓曲线的形状，且测量速度快、结果可靠、操作方便。但是被测表面容易被触针划伤，为此应在保证可靠接触的前提下尽量减少测量压力。 电动轮廓仪按传感器的工作原理分为电感式、感应式以及压电式多种。仪器由传感器、驱动箱、电器箱等三个基本部件组成。 传感器的触针由金刚石制成，针尖圆弧半径为2微米，在触针的后端镶有导块，形成一条相对于工件表面宏观起伏的测量的基准，使触针的位移仅相对于传感器壳体上下运动，所以导块能起到消除宏观几何形状误差和减小纹波度对表面粗糙度测量结果的影响。传感器以铰链形式和驱动箱连接，能自由下落，从而保证导块始终与被测表面接触。? 传感器的触针尖端表面??被测表面接触，当传感器以匀速水平移动时，被测表面的峰谷使探针产生上下位移，使敏感元件的电感发生变化，从而引起交流载波波形发生变化。此变化经由电器箱中放大、滤波、检波、积分运算等部分处理以后，可以直接由仪器电器箱的读数表上指示出来，也可以传递到计算机上进行处理。;本章作业; 7、普通干涉法与椭偏法在测量方法上，有哪些相同点？有哪些不同点？为什么椭偏法的测量精度更高？ 8、如何利用扩展电阻分布法测量外延层厚度？画出示意图说明。 9、利用扩展电阻分布法可以获得pn结哪些性能参数？这些参数分别有什么参考意义？;谢谢观看！