XPS方法原理与仪器分析.pptVIP

XPS分析方法原理 XPS仪器基本结构 XPS主要分析技术 第六章 X射线光电子谱是重要的表面分析技术之一。它不仅能探测表面以及深度的化学组成，而且可以确定各元素的化学状态，因此，在化学、材料科学及表面科学中得以广泛地应用。 目前一页\总数三十五页\编于十七点 X射线光电子能谱分析方法原理 光电效应 根据Einstein的能量关系式有：h? = EB + EK 其中? 为光子的频率，EB 是内层电子的轨道结合能，EK 是被入射光子所激发出的光电子的动能。实际的X射线光电子能谱仪中的能量关系。其中以真空能级算起的结合能即 EBV与以Fermi能级算起的结合能EBF间有 因此有： ?SP和?S分别是谱仪和样品的功函数 目前二页\总数三十五页\编于十七点 光电子的特征性 当一束光子辐照到样品表面时，光子可以被样品中某一元素的原子轨道上的电子所吸收→电子脱离原子核的束缚，以一定的动能从原子内部发射出来→自由的光电子；对于特定的单色激发源和特定的原子轨道，其光电子的能量是特征的→其光电子的能量仅与元素的种类和所电离激发的原子轨道有关； X射线光电子能谱分析方法原理 1、根据光电子的能量，确定样品表面存在的元素； 2、根据光电子的数量，确定元素在表面的含量； 3、X射线束在表面扫描，可以测得元素在表面的分布； 4、采用离子枪溅射及变角技术，得到元素在深度方向的分布； 5、根据不同化学环境下光电子峰位移动、峰型、峰间距变化，获得化学信息； 目前三页\总数三十五页\编于十七点 Binding energy (eV) 4f 4d 4p 4p 4s Au XPS spectrum 横坐标为结合能，纵坐标为光电子的计数率；谱峰为光电子特征结合能； 目前四页\总数三十五页\编于十七点 一、固体样品：样品尺寸的限制—真空隔离要求的传递杆技术；注意表面的成分的状态的保护； 二、粉体样品：双面胶带固定；压片法—加热，表面反应、表面处理等动态分析要求 ； 三、特殊样品预处理： 1、含挥发性物质的样品—加热或溶剂清洗； 2、表面有机污染的样品：有机溶剂清洗—除有机溶剂； 3、带有微弱磁性的样品：退磁处理；禁止带有磁性样品进入分析室； 四、绝缘样品和导电性不好的样品：仪器必须进行样品荷电校准； 目前五页\总数三十五页\编于十七点 XPS谱仪的基本结构框图 1 2 3 4 5 影响仪器特性的最主要部件和因素 一、仪器灵敏度：激发源强度；能量分析器的入口狭缝有效面积、立体接收角；电子传输率、电子检测器类型； 二、仪器分辨率：X射线源的自然线宽、能量分析器的线宽、受激样品原子的能级线宽； 目前六页\总数三十五页\编于十七点 一、X射线激发源：要求强度大、单色性好—激发源做单色化处理；大面积源-Al/Mg双阳极靶；微聚焦源—单色源Al靶； 二、快速进样室：气体隔离室技术—预处理室：加热、蒸镀、刻蚀； 三、能量分析器： 电子传输率；能量分辨率；CMA /SDA—在高分辨下有较高的灵敏度；减速—聚焦透镜→加大多功能能谱仪空间；浸入式磁透镜； 四、检测器：数据采集—脉冲计数方法→电子倍增器+单粒子计数器；位置灵敏检测器（PSD）→在聚焦面上同时平行安装—一组增加分析器—出口处电子检测面积倍增，形成多元检测系统；平行成像技术； 五、超真空系统：防气体覆盖、能量损失—三级真空泵联用：机械泵+分子泵+溅射离子泵—钛升华泵； 六、其他附件：荷电中和枪；离子枪； X射线光电子能谱仪关键部件 目前七页\总数三十五页\编于十七点 表面、界面成分分析能力* 较好的元素价态分析能力 化学位移分析：由于元素所处化学环境不同，内层电子的轨道结合能也不同；通过测得元素的结合能和化学位移，鉴定元素的化学价态； 结合能校准：标准样品测定化学位移——谱图上测量峰位位移、测量双峰间的距离变化、测量半峰高宽变化；* 成分深度的分析能力 1、变角XPS深度分析：利用采样深度的变化获得元素浓度与深度的对应关系；非破坏性分析；适用于1—5nm表面层；2、Ar离子剥离深度分析：交替方式-循环数依据薄膜厚度及深度分辨率而定；破坏性分析； X射线光电子能谱主要分析技术 目前八页\总数三十五页\编于十七点 Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰步骤 目前九页\总数三十五页\编于十七点 一、在Origin中作图步骤： 1、打开文件，可以看到一列数据，找到相应元素（如N1s）对应的Region (一个Region 对应一张谱图),一个文件有多个Region。 2、继续向下找到Kinetic Energy，其下面一个数据为动能起始值，即谱图左侧第一个数