一种远/近场协同整形飞秒激光制备可控硅纳米线的方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种远/近场协同整形飞秒激光制备可控硅纳米线的方法.pdf

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本发明涉及一种远/近场协同整形飞秒激光制备可控硅纳米线的方法，属于飞秒激光应用技术领域。本发明首先在晶向的硅片表面电子束蒸镀金膜，然后通过滴涂法在镀金硅片表面自组装单层透明电介质微球掩膜，接着采用物镜将飞秒激光聚焦在单层紧密排列的微球掩膜区域，由于电介质微球对入射飞秒激光的米氏散射作用，在微球底部形成径向尺寸低于光学衍射极限的局域光场，利用该局域增强光场烧蚀金膜得到纳米孔阵列。通过改变入射激光能量、偏振类型、波长及脉冲能量的时域分布和空间分布对孔阵列的直径、形貌和分布同时进行调节。然后

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113113289 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110347486.6 B23K 26/36 (2014.01)