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本发明涉及铁电电容器、晶体管、存储器件以及制造铁电器件的方法。该铁电电容器包括第一电极、面对第一电极的第二电极、在第一电极与第二电极之间的铁电层以及在铁电层与第一电极之间或在铁电层与第二电极之间的界面层。铁电层包括基于铪的氧化物。界面层包括HfO2。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113130749 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202011169351.7 H01L 27/11507 (2017.01)
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