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杰类缓蚀剂机理密度泛函理论研究.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于北京
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杰类缓蚀剂机理密度泛函理论研究.pdf

    摘 要 3 本 以量子化学密度泛函理论为基础，运用Materials Studio软件包中的Dmol 模 块，在不施加任何对称性限制条件下，考虑溶剂对缓蚀剂的影响，采用广义梯度近似 GGA-PBE交换关联函数，在双数值轨道基组加轨道极化函数DNP水平上研究了三种吡 啶类缓蚀剂分子的结构性质及在Al （111）表面的

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