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一种五氟化磷气体的制备方法.pdfVIP

一种五氟化磷气体的制备方法.pdf

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    本发明提供一种五氟化磷气体的制备方法。所述制备方法包括以下步骤：(1)将磷源和无水氢氟酸反应得到第一生成物，将所述第一生成物分解得到第二生成物；(2)对步骤(1)所述第二生成物进行预处理后得到粗制五氟化磷气体，经电离吸附处理，得到纯净的五氟化磷气体。本发明制备得到的五氟化磷气体具有低杂质和高纯的效果。制备成本低、纯度高、可连续化生产、能耗低等优点。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116253301 A (43)申请公布日 2023.06.13 (21)申请号 202211740261.8 (22)申请日 2022.12.30 (71)申请人 浙江研一新能源科技有限公司 地址

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