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- 2023-06-15 发布于四川
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本发明公开了一种制备脆硬金属微球涂层样品盘及其加工方法，涉及微球涂层制备技术领域，解决现有样品盘内表面的涂层脱落产生碎渣，沾附到微球的表面，导致微球表面脆硬金属涂层的表面粗糙度增大的问题。本发明采用的技术方案是：样品盘的内表面呈曲面状，内表面呈粗糙状，内表面外侧顺次涂镀有铝涂层和石墨碳涂层。铝涂层可促使脆硬金属涂层应力弛豫释放；石墨碳涂层可增强脆硬金属与铝涂层之间的附着力，通过两种过渡层的共同作用，抑制脆硬金属涂层从石英样品盘内表面脱落碎裂，改善微球表面质量。样品盘加工方法采用离子束对样品盘内的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 107217234 A
(43)申请公布日
2017.09.29
(21)申请号 20171
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