CAS 127.5-2009 洁净室及相关受控环境 第5部分：运行.docx

中国标准化协会标准 CAS STANDARDS OF CHINA ASSOCIATION 127.5-2009/ FOR STANDARDIZATION IS014644-5:1999 洁净室及相关受控环境 第5部分：运行 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 5: Operations 2009-09-03 发布 索引号 CAS 127.5-2009/1S014644-5:1999(C) CAS 127.5-2009/1S014644-5:1999 该标准版权为中国标准化协会所有。除了用于国家法律或事先得到 中国标准化协会文字上的许可外，不许以任何形式再复制该标准。 中国标准化协会地址：北京市海淀区增光路33号中国标协写字楼 邮政编码：100037. 电话：6848177868486206 传真网址： 电子信箱： cas@ 工 Ⅱ CAS 127.5-2009/1S014644-5:1999 前 言 中国标准化协会 (CAS) 是组织开展国内、国际标准化活动的全国性社会团体。制定中国标准化协 会标准(以下简称：中国标协标准),满足企业需要，推动企业标准化工作，这也是中国标准化协会的 工作内容之一。中国境内的团体和个人，均可提出制、修订中国标协标准的建议并参与有关工作。 中国标协标准按《中国标准化协会标准管理办法》进行管理，按CAS1.1—2001 《中国标准化协会 标准结构及编写规则》的规定编制。 中国标协标准草案经向社会公开征求意见，并得到参加审定会议的75%以上的专家、成员的投票 赞同，方可作为中国标协标准予以发布。 使用中国标准化协会标准的单位，应按现行国家有关规定办理标准备案，并对技术内容负责。 本系列标准由中国电子学会洁净技术分会提出。 本系列标准等同采用ISO 14644 《洁净室及相关受控环境》。 本系列标准的总标题为《洁净室及相关受控环境》,该系列标准包含以下8个部分： ——第1部分：空气洁净度等级 第2部分；证明持续符合CAS127.1 的检测和监测技术条件 ——第3部分：检测方法 - 第4部分：设计、建造、启动 ——第5部分：运行 ——第6部分：词汇 ——第7部分：隔离装置(洁净空气罩、手套箱、隔离器、微环境) ——第8部分：空气分子污染分级 本部分是系列标准的第5部分。本部分包含附录 A、B、C、D、E、F, 全部为资料性附录。 本部分首次制定。 在本部分实施过程中，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料寄给中国标准化协会，以 便修订时参考。 Ⅲ CAS 127.5-2009/1S014644-5:1999 引 言 洁净室广泛应用于各行各业。洁净室的运行规程对生产设备运行时其洁净室运行中所能达到的洁净 度有重要影响。洁净度决定质量的稳定性。只有周密地制定计划，在计划中规定、实施并检验所确定的 及运行规程，适时地检测，并强制执行详细规定的运行制度，才能达到并维持工作所需的洁净度。本标 准是面向各类洁净室的一个一般运行标准通用文件，某些负责制定洁净室工艺和产品相关规定的机构， 还可能要求附增加一些在这个本标准一般运行标准中未涵盖的规程和检测措施。 本部分制定了与以下内容相关的规范性及和推荐性的运行要求包含以下内容： a) 提供出了制定含有策略和及运行规程的原则体系； b) 将用于阻隔人体产生的污物污染与洁净室环境隔离的洁净服； c) 在洁净室内人员培训人员，并监督及监督他们遵守规定的操作规程和与纪律的情况； d) 固定设备(未涉及固定设备的标准)的移动、安装和维护维护； e) 洁净室内用材料和便携式设备的选择和使用； f) 维持洁净室洁净度的系统性清洁和监测。 IV CAS 127.5-2009/1S0 14644-5:1999 目 次 1 范围 1 2 规范性引用标准 1 3 术语和定义 1 4 技术要求 3 附录A(资料性附录)运行体系 6 附录B(资料性附录)洁净服 18 附录C(资料性附录)人员 16 附录D(资料性附录)固定设备 25 附录E(资料性附录)材料和便携设备 29 附录F(资料性附录)洁净室的清洁 29 参考文献 37 1 CAS 127.5-2009/1S014644-5:1999 洁净室及相关受控环境 第5部分：运行 1 范围 本部分的内容规定了洁净室运行的基本要求，供准备使用并运行洁净室的人员使用。本部