CAS 127.6-2009 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇.docx

中国标准化协会标准 CAS STANDARDS OF CHINA ASSOCIATION 127.6-2009/ FOR STANDARDIZATION 1S014644-6:1999 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6: Vocabulary 2009-09-03 发布 索引号 CAS 127.6-2009/1S014644-6:1999(C) CAS 127.6-2009/1S014644-6:1999 该标准版权为中国标准化协会所有。除了用于国家法律或事先得到 中国标准化协会文字上的许可外，不许以任何形式再复制该标准。 中国标准化协会地址：北京市海淀区增光路33号中国标协写字楼 邮政编码：100037 电话68486206 传真网址： !电子信箱：cas@ 工 Ⅱ CAS 127.6-2009/1S014644-6:1999 前 言 中国标准化协会 (CAS) 是组织开展国内、国际标准化活动的全国性社会团体。制定中国标准化协 会标准(以下简称：中国标协标准),满足企业需要，推动企业标准化工作，这也是中国标准化协会的 工作内容之一。中国境内的团体和个人，均可提出制、修订中国标协标准的建议并参与有关工作。 中国标协标准按《中国标准化协会标准管理办法》进行管理，按CAS 1.1—2001 《中国标准化协会 标准结构及编写规则》的规定编制。 中国标协标准草案经向社会公开征求意见，并得到参加审定会议的75%以上的专家、成员的投票 赞同，方可作为中国标协标准予以发布。 使用中国标准化协会标准的单位，应按现行国家有关规定办理标准备案，并对技术内容负责。 本系列标准由中国电子学会洁净技术分会提出。 本系列标准等同采用ISO14644 《洁净室及相关受控环境》。 本系列标准的总标题为《洁净室及相关受控环境》,该系列标准包含以下8个部分： 第1部分：空气洁净度等级 第2部分：证明持续符合CAS127.1 的检测和监测技术条件 第3部分；检测方法 ——第4部分：设计、建造、启动 第5部分：运行 ——第6部分：词汇 第7部分；隔离装置(洁净空气罩、手套箱、隔离器、微环境) ——第8部分：空气分子污染分级 本部分是系列标准的第6部分。 本部分首次制定。 在本部分实施过程中，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料寄给中国标准化协会，以 便修订时参考。 CAS 127.6-2009/1S014644-6:1999 Ⅲ 引 言 为了完成对污染敏感的活动，洁净室及相关受控环境将空气悬浮粒子污染控制在适当的水平。产品 或工艺受益于空气粒子物污染控制的领域有：航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗等行业。 CAS 127.6-2009/1S014644-6:1999 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇 1 范围 本部分给出洁净室和相关受控环境有关的术语和定义，是本系列标准其他部分出现的术语和 定义的汇总。本部分也包括了CAS 128.1和 CAS128.2 中的术语和定义。 2 术语和定义 2.1 6个月 6 months 动态(2.97)运行的整个期间，定期复检的平均间隔不超过183天，最长间隔不超过190天 的周期。 [CAS 127.1—2009,3.2.3] 2.2 12个月 12 months 动态(2.97)运行的整个期间，定期复检的平均间隔不超过366天，最长间隔不超过400天的 周期。 [CAS 127.2—2009,3.2.4] 2.3 24个月 24 months 动态(2.97)运行的整个期间，定期复检的平均间隔不超过731天，最长间隔不超过800天的 周期。 [CAS 127.2—2009,3.2.5] 2.4 介入器具 access device 操作隔离装置(2.118)内工艺、工器具或产品的用具。 [CAS 127.7—2009,3. 1] 2.5 酸 acid 以接收电子对并建立新化学键为化学反应特性的物质。 [CAS 127.8—2009,3.2. 1] 2.6 (普通)干预值 action level (general) 用户在受控环境(2.45)中设定的一个量值。在超过该值时，需立即进行干预，包括查明原因 及纠正行动(2.46)。 [CAS 127.7—2009,3.2,CAS 127.1—2009,3.1. 1] 2 CAS 127.6-2009/1S014644-6:199