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本发明公开了负性光刻胶显影液及其制备方法、应用，负性光刻胶显影液包括以下组分：无机碱，缓蚀剂，阻垢剂，消泡剂，非离子表面活性剂和去离子水。本发明采用了极低含量的无机碱代替传统的有机溶剂和有机碱，其中一种添加剂可以很好的络合里面的金属离子，使得后序工艺中不会出现短路，阴影的情况；第二种添加剂是对于未曝光的光刻胶有极好的溶解效果，对于曝光部分又极难反应，显影效果佳，不会出现残胶；第三种添加剂对于泡沫有着很好的抑制性和消泡性，在使用过程中不会出现大量泡沫，使显影不均匀，起泡溢流的情况。该显影液同时兼具
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113253580 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202110512686.2
(22)申请日 2021.05.11
(71)申请人 绵阳艾萨斯电子材料有限公司
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