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- 2023-06-17 发布于四川
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本发明提供了一种真空炉内掺杂安全处理系统，包括真空炉，用于抽真空炉内气体的第一抽真空子系统、第二抽真空子系统，用于对抽出的气体进行处理的水气分离器；第一抽真空子系统与第二抽真空子系统的进气端通过第一三通管与真空炉出气端连接，第一抽真空子系统与第二抽真空子系统的出气端通过第二三通管与水气分离器连接。本发明所述的一种真空炉内掺杂安全处理系统，抽真空控制系统有两套，两套处理系统的存在，能够用较小的成本完成生产所需；并且在突发情况下能够两个机组快速切换，即使有一个机组因特殊情况不能够保证生产，切换另一个
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113267057 A
(43)申请公布日 2021.08.17
(21)申请号 202110645358.X B01D 46/00 (2006.01)
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