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压电微机械超声换能器及其制作方法.pdfVIP

压电微机械超声换能器及其制作方法.pdf

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    本发明提供一种压电微机械超声换能器及其制作方法，所述压电微机械超声换能器包括：衬底；设置于衬底上支撑层，其形成有至少一个开口朝向衬底的空腔，空腔侧壁、空腔顶壁与衬底围设形成真空密闭腔；设置于支撑层上的压电薄膜，其至少位于空腔上方，并直接受空腔顶壁支承，保留部分支撑层不蚀刻形成的空腔顶壁直接起到支承压电薄膜的作用，省略常规PMUT结构中的沉积形成的薄膜支撑层等结构，能够显著降低PMUT的制造成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113245175 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202110685781.2 (22)申请日 2021.06.21 (71)申请人 苏州晶方半导体科技股份有限公司

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