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- 2023-06-17 发布于四川
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一种装置包括第一设备和第一传送器,第一设备被配置为将基板支撑在其上,第一传送器连接有第一设备,其中第一传送器包括:轨道或磁悬浮引导件;磁性系统,被配置为利用第一设备与轨道或磁悬浮引导件之间的间隙,将第一设备竖直间隔在轨道或磁悬浮引导件之上,其中磁性系统包括在第一设备的第一面的第一角部处的第一电磁致动器、在第一设备的第一面的第二角部处的第二电磁致动器、以及在第一设备的相对的第二面处的第三电磁致动器,其中第三电磁致动器没有定位为靠近第一设备的三个面的角部;以及线性致动器,被配置为沿着轨道或磁悬浮引导
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113939384 A
(43)申请公布日 2022.01.14
(21)申请号 202080025919.X (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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