0.5um分辨率大视场在线投影加工系统.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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本发明公开了0.5um分辨率大视场在线投影加工系统,包括加工设备本体,所述加工设备本体的上端设置有磨具机构,所述磨具机构的一侧设置有夹具机构,所述夹具机构的下端设置有光源发射器,所述磨具机构的上端设置有投影装置,所述投影装置的外表面设置有显示模组,所述投影装置的下端外表面设置有投影接收头,所述加工设备本体的上端外表面设置有水平尺,所述加工设备本体的下端设置有调平结构。本发明所述的0.5um分辨率大视场在线投影加工系统,加工过程中能够进行实时监测,提高了加工精度,从而保证加工质量,提高加工效率,方

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113275990 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110382188.0 (22)申请日 2021.04.09 (71)申请人 江苏赫锐智能科技有限公司

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