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在大长径比金属筒（或管）内壁表面沉积类金刚石薄膜的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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在大长径比金属筒（或管）内壁表面沉积类金刚石薄膜的方法.pdf

    本发明涉及在大长径比(L/D)或小直径金属筒(或管)内壁表面沉积类金刚石薄膜的方法，采用一个用金属丝网制作的筒(或管)状阳极，把金属筒(或管)的内壁作为阴极，在丝网阳极和金属筒(或管)内壁之间构成等离子电场，丝网阳极的网孔则成为反应气体均匀分布的通道，反应气体分别通入Ar气、或Si(CH3)4、或H2、或C2H2、或它们的混合气体。在等离子电场中施加高电压，电场中高能γ‑电子轰击丝网阳极，同时被丝网阳极吸收并产生电流。高能γ‑电子的轰击和电流使丝网阳极的温度升高，并控制丝网阳极温度稳定在300℃

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113265642 A (43)申请公布日 2021.08.17 (21)申请号 202110522893.6 (22)申请日 2021.05.13 (71)申请人 郑州大学 地

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