一种基于机器学习的单层二硫化钼样品光学表征方法、模型及其用途.pdfVIP

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  • 2023-06-17 发布于四川
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一种基于机器学习的单层二硫化钼样品光学表征方法、模型及其用途.pdf

本发明提供了一种基于机器学习的单层二硫化钼样品光学表征方法、模型及其用途。首先,将二硫化钼样品光学成像通过图形处理提取出可疑单层ROI区域;然后,将可疑单层ROI局域的像素值与硅片在光学显微镜下拍摄出来的特征值求差值向量,通过拉曼表征来区分单层和少层样品,通过肉眼观测的方式确定残胶,根据层数分类来建立目标值;将差值向量求平均值和标准值作为特征值,并与目标值组成数据集,最后通过对数据集降维并通过机器学习算法对该数据集进行分类,获得最佳单层表征模型。基于该模型,通过光学成像即可快速分辨出单层二硫化钼

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113283301 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202110457826.0 G01N 21/84 (2006.01) (22)申请日 2

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