1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种半导体导电薄膜厚度在线测试结构及其测试方法.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约1.63万字
  • 约 13页
  • 2023-06-17 发布于四川
  • 举报

一种半导体导电薄膜厚度在线测试结构及其测试方法.pdf

    本发明公开了一种半导体导电薄膜厚度在线测试结构，包括四探针电阻测试桥结构以及连续阶梯结构，该结构利用多个台阶平均了台阶制造过程中的随机误差，利用多个台阶增加了电阻变化的数值，便于测量。本发明还公开了一种半导体导电薄膜厚度在线测试方法，该方法简单，测试设备要求低，测试过程及测试参数值稳定，加工过程与微机电器件同步，没有特殊加工要求，完全符合在线测试的要求，计算方法仅限于简单数学公式。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113267118 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202110695599.5 审查员 徐雅 (22)申请日 2021.06.23

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >