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立式热处理设备.pdfVIP

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  • 2023-06-20 发布于四川
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立式热处理设备.pdf

    本申请实施例提供了一种立式热处理设备。该立式热处理设备包括：内炉管、外炉管及炉体结构；内炉管包括炉管本体及盖板，炉管本体的底端为传输口，用于传输晶圆及工艺气体；盖板设置于炉管本体的顶端，盖板开设有与内炉管同轴设置的排气口，用于排出工艺气体；外炉管的顶端为封闭结构，外炉管套设于内炉管的外周，外炉管的内壁与内炉管的外壁间隔设置以形成与排气口连通的排气通路；外炉管的底部一侧还设置有与排气通路连通的排气歧管；炉体结构包覆于外炉管的外周，用于对内炉管及外炉管进行加热及保温。本申请实施例实现了内炉管的气流一

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113327875 A (43)申请公布日 2021.08.31 (21)申请号 202110691127.2 (22)申请日 2021.06.22 (71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司

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