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- 2023-06-20 发布于四川
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本发明涉及TFT显示技术领域,公开了一种用于TFT模组加工的上料清洗装置,包括工作台,工作台上矩形阵列分布有若干卡孔,卡孔内设卡接单元、用以卡接TFT基板;清洗机构,清洗机构包括若干根水平设于工作台上、下两侧的清洗管,清洗管沿工作台的宽度方向设置、并与卡孔的列数相同,清洗管的外侧沿其轴向安装有多个喷头,且清洗管的一端设置进液口、并连接外部供液机构;调节机构,调节机构与卡孔的列数相同,其用于调节相对设置在工作台上、下两侧的两根清洗管,以调整清洗管上喷头的喷液方向。本发明方便对TFT基板进行清洗,清
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113319047 B
(45)授权公告日 2022.05.27
(21)申请号 202110691261.2 (51)Int.Cl.
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