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一种兼容性ITO蚀刻液及制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-20 发布于四川
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一种兼容性ITO蚀刻液及制备方法.pdf

    本发明涉及一种兼容性ITO蚀刻液及制备方法，其蚀刻液的原料按重量百分比计算，包括硝酸10%～30%、硫酸10%～20%、金属盐1%~10%、铵盐0.5%‑3%，余量为纯水；依次加入硝酸、纯水、金属盐、铵盐后充分搅拌、混合均匀，再往混合均匀的硝酸、纯水、金属盐、铵盐的混合物中缓慢加入硫酸，充分搅拌混合均匀得到兼容性ITO蚀刻液。本发明的兼容性ITO蚀刻液适用于不同厚度的ITO膜层，且反应温和稳定，蚀刻精度高。针对不同厚度的膜层，只需调整蚀刻时间即可达到蚀刻的目的，无需更换蚀刻液成分以及调整蚀刻液成

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113322072 B (45)授权公告日 2022.06.03 (21)申请号 202110708889.9 C09K 13/06 (2006.01) (22)申请日 2021.06

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