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- 2023-06-21 发布于四川
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本发明属于光学测量领域，公开了一种栅极组件栅极面间距检测方法，能够便捷准确的完成对栅极组件栅极面间距的检测，首先，针对屏栅极孔获得透射光斑具有最大面积时的正射倾角值θi和转动过程中透射光斑的面积Sij与多个预定角度值的映射关系；接着，将屏栅极面与加速栅极面组装形成栅极组件；然后，将栅极组件转动正射倾角值θi，并获取偏转过程中透射光斑的面积Sik与多个预定角度值的映射关系；然后，获取偏转过程中，当未干涉状态和干涉状态临界时，栅极组件的临界遮挡偏转角θimax；最后，通过间距求解公式得到栅极面间距。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113375579 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202110710325.9 CN 101393882 A,2009.03.25
(22)申
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