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本发明公开了一种表面划痕检测方法及装置,所述方法包括以下步骤:生成时序控制信号;根据所述时序控制信号,向待测件表面发射准直的照明光束;接收所述待测件表面的反射光,并对所述待测件表面成像;根据所述待测件表面成像信息,得到所述待测件表面的划痕信息,本发明采用时序电信号对不同照明单元进行控制,使系统更为简单,控制更加灵活便捷和高效,从不同角度对待测件进行照明,使划痕的成像清晰度显著提高,漏检率大大降低。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113376164 A
(43)申请公布日
2021.09.10
(21)申请号 20201
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