一种碳化硅晶锭切片及双面打磨装置.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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一种碳化硅晶锭切片及双面打磨装置.pdf

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本实用新型公开了一种碳化硅晶锭切片及双面打磨装置，包括固定座，所述固定座的上方设置有支撑架，胡支撑架的中间设置有旋转定位架，所述旋转定位架的内侧设置有四个对称分布的装夹片，四个所述装夹片与旋转定位架的内壁中间均设置有装夹伸缩杆，所述旋转定位架与支撑架的两端中间均设置有旋转转轴，所述旋转转轴的一端插接在支撑架内部，其中一个所述旋转转轴的外表面设置有旋转传动齿轮。本实用新型通过旋转定位架和装夹片，可以快速的对碳化硅晶锭切片进行装夹并固定，并且通过旋转转轴可以驱动被碳化硅晶锭切片进行旋转，并在旋转碳化

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219212560 U (45)授权公告日 2023.06.20 (21)申请号 202320199158.0 (22)申请日 2023.02.13 (73)专利权人扬帆半导体（