原创力文档- 6
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- 2023-06-21 发布于四川
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本发明适用于激光加工领域，公开了并行激光加工系统，包括沿光路依次设置的激光器、扩束器、半波片、全内反射棱镜系统、空间光调制器、反射镜和扫描加工单元，全内反射棱镜系统包括第一全内反射棱镜和第二全内反射棱镜，第一全内反射棱镜与第二全内反射棱镜的贴合面形成倾斜的入射面，激光器发出的光束经扩束器扩束和经半波片调偏后入射到全内反射棱镜系统的入射面，并在入射面处发生全反射后出射到空间光调制器，全反射到空间光调制器的光束与空间光调制器之间的入射角为0‑5度，经过空间光调制器调制后的衍射光束透过全内反射棱镜系统
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113369674 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110736990.5
(22)申请日 2021.06.30
(71)申请人 西安
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