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本申请涉及工业废水处理和资源回收利用技术领域,具体公开了一种集成电路行业含氟废液资源化利用的方法,包括:测定含氟废液中SiF62‑、F‑和SO42‑的浓度;向含氟废液中加入氢氧化钠的水溶液进行一次中和反应,得一次处理废液和氟硅酸钠;向一次处理废液中加入氢氧化钠进行二次中和反应,得二次处理废液和氟化钠;二次处理废液经过蒸发浓缩析出含有氟化钠的沉淀物,得含有氟化钠的沉淀物和三次处理废液;向三次处理废液中加入硝酸钙,得固体废料和四次处理废液;四次处理废液经过结晶得五次处理废液和硝酸钠。本申请将含氟废液
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113353940 B
(45)授权公告日 2021.11.26
(21)申请号 202110910738.1 C01D 3/02 (2006.01)
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