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一种硫化钼/铌酸锂复合型光收发器件及制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-23 发布于四川
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一种硫化钼/铌酸锂复合型光收发器件及制备方法.pdf

    本发明提供了一种硫化钼/铌酸锂复合型光收发器件及制备方法，包括单晶LiNbO3，形成于单晶LiNbO3表面的层状MoS2层，与MoS2层部分重叠的p型材料层，以及电极，所述电极放置于单晶LiNbO3，MoS2层、p型材料以及MoS2层与p型材料重叠部分的上方或者包括p型硅基衬底，HfO2层，MoS2二维材料层，LiNbO3晶态薄膜与电极，所述HfO2层部分覆盖硅基衬底，所述MoS2二维材料层与所述HfO2层部分重叠，所述LiNbO3晶态薄膜设置于MoS2二维材料层和HfO2层重叠部分上。本发明采

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113488559 B (45)授权公告日 2023.04.11 (21)申请号 202110754311.7 审查员 郭学军 (22)申

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