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本发明提供了一种金刚石制品及其制备方法和应用,所述制备方法包括如下步骤:S1.在清洁后的衬底表面沉积一层DLC膜,所述DLC膜的厚度为0.1~4μm;S2.将步骤S2的衬底置于化学气相沉积炉中,通入H2和甲烷,沉积金刚石;S3.去除步骤S2中的衬底,即得金刚石制品。所述制备方法能够提高沉积速率、拓宽衬底的选择。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113445023 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110507575.2 F28F 21/02 (2006.01)
(22)申请日 2
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