中科微感智能嗅觉气体传感器芯片模组技术和产品应用案例介绍.pdf

全栈式气味数字化技术及应用供应商 MEMS基人工智能嗅觉传感芯片及技术平台 中 科 微 感 （宁 波 ） 科 技 有 限 公 司 C S M i c r o s e n s o r （N i n g b o ） T e c h n o l o g y C o . L t d 1 先进MEMS人工嗅觉传感器给出气味数字化答案 完整气味数字化能力 Co mplet e odo r d ig it izat io n ca pa bility MEMS半导体电阻型传感器 6英寸硅基晶圆 高效纳米膜层沉积技术 Ø 敏感膜面积 0.05 mm x 0.05 mm Ø 膜厚 ～50 nm Ø 单晶圆批量膜厚偏差 2% n型MOS传感器 Ø 功耗 5 mW p型MOS传感器 Ø 使用寿命 5年 p型PP传感器 Ø 检测限可低到 ppb Ø 尺寸最小50 μm*50 μm, 材料优选锁定 Ø 封装后 1mm* 1mm y f(x ,x ,x ...,x ) 1 2 3 n 气味特征数据关联锁定 阵列数据关联锁定 Input layer Hidden layer Output