原创力文档- 1、本文档共18页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
全栈式气味数字化技术及应用供应商
MEMS基人工智能嗅觉传感芯片及技术平台
中 科 微 感 （宁 波 ） 科 技 有 限 公 司
C S M i c r o s e n s o r （N i n g b o ） T e c h n o l o g y C o . L t d
1
先进MEMS人工嗅觉传感器给出气味数字化答案
完整气味数字化能力
Co mplet e odo r d ig it izat io n ca pa bility MEMS半导体电阻型传感器
6英寸硅基晶圆 高效纳米膜层沉积技术
Ø 敏感膜面积 0.05 mm x 0.05 mm
Ø 膜厚 ～50 nm
Ø 单晶圆批量膜厚偏差 2%
n型MOS传感器
Ø 功耗 5 mW
p型MOS传感器
Ø 使用寿命 5年 p型PP传感器
Ø 检测限可低到 ppb
Ø 尺寸最小50 μm*50 μm,
材料优选锁定
Ø 封装后 1mm* 1mm
y f(x ,x ,x ...,x )
1 2 3 n
气味特征数据关联锁定 阵列数据关联锁定
Input layer Hidden layer Output
文档评论（0）