中科微感智能嗅觉气体传感器芯片模组技术和产品应用案例介绍.pdfVIP

全栈式气味数字化技术及应用供应商 MEMS基人工智能嗅觉传感芯片及技术平台 中 科 微 感 （宁 波 ） 科 技 有 限 公 司 C S M i c r o s e n s o r （N i n g b o ） T e c h n o l o g y C o . L t d 1 先进MEMS人工嗅觉传感器给出气味数字化答案 完整气味数字化能力 Co mplet e odo r d ig it izat io n ca pa bility MEMS半导体电阻型传感器 6英寸硅基晶圆 高效纳米膜层沉