微机电系统第二章设计基础.pptVIP

固体在亚微米尺度内热流量的尺度规律 表示尺寸减小10倍将导致热流量减小100倍。 第三十页，共四十五页，2022年，8月28日 （2）对流中的尺度效应 对流时，固体与流体界面处出现边界层，由牛顿冷却定律描述 式中Q为流体中两点间的热流总量，q是相应的热通量，A是热流的横截面积，h为传热系数，是两点之间的温差。 第三十一页，共四十五页，2022年，8月28日 三、 MEMS中的材料应用及进展 1 单晶硅 硅材料除了具有良好的半导体性能，还有良好的机械性能，如强度、硬度、热导、热膨胀等。硅材料质量轻，密度是不锈钢的 1/3.5，而弯曲强度为不锈钢的 3.5 倍，其热导性是不锈钢的 5 倍，而热膨胀系数却不到不锈钢的 1/7， 能很好的和低膨胀 合金连接，并避免产生热应力。 实际的机械性能取决于制成器件后硅的结晶取向、几何尺寸、缺陷以及在生长、抛光、随后处理中积累的应力情况。设计得当的微活动结构,如微传感器,能达到极小的迟滞、 蠕变、高重复性和长期稳定性。 第三十二页，共四十五页，2022年，8月28日 第一页，共四十五页，2022年，8月28日 第二章MEMS设计基础 内容提要 硅晶体结构与微观力学 微尺度效应 MEMS中的材料应用及进展 MEMS设计的基本问题 MEMS设计的具体方法 第二页，共四十五页，2022年，8月28日 金刚石立方形式=面心立方结构+沿对角线错位1/