7FTIR测量分析和总结.docx

7. FT-IR 测量 茅建锋 在整个 TFT 生产过程中间，对于非金属模膜质的控制直接影响到晶体管的性质。对于SiNx 膜主要是考察膜中间 N-H 与 Si-H 键的数量，G-SiNx 膜中 N-H 数量上升，膜的诱电率上升，感应电流产生就更容易，而且 N-H/Si-H 也应控制在一定范围之内，N-H 标志膜的 SiNx 化程度，Si-H 标志着膜的 a-Si 化程度，两者应该控制一个合适的比例。对于非晶硅，无论是 a 或者 n+，都是考察膜中间 Si-H 与 Si=H2 的数量，Si-H 的存在可以弥补缺陷，提高迁移率，而Si=H2 是一种不稳定的结构，容易产生悬挂键，破坏层间结构，产生缺陷，降低导电能力。而在实际生产中我们使用 FTIR（傅立叶变换红外光谱仪）来测量键的数目。 一.FT- IR 测量原理 对于红外光谱的产生，量子力学的观点认为，它是分子的振动（包括转动）能级之间的吸收跃迁谱线，从而能够自物质对红外光的吸收光谱，得到关于物质分子组成与结构的大量 信息。人们通过大量标准样品的测试，从实践中总结出了一定的官能团总对应有一定的特征 吸收，归纳出了各种官能团的特征频率表，由这些谱图就可以推测物质的分子结构。 计算机数据处理系统计算机接口及电子线路外接光学 计算机数据处理 系统 计算机接口及 电子线路 外接 光学系统 干涉仪 图 7.1 FTIR 光谱仪的结构框图 光学系统包括由固定镜、移动镜、分束器组成的干涉仪，光源、检测器以及各种红外反射镜、激光系统。傅立叶变换红外光谱仪光学系统的主体是Michelson 干涉仪，其基本原理如图 2 所示。光源发出的光经调整后，其平行光束射到干涉仪中的分束器上（O 点处），分束器使一半辐射反射，另一半辐射透过。经分束器反射的光到达定镜，经定镜反射再回到分 束器；经分束器透射的光到达动镜，经动镜反射回到分束器。动镜从某一起始点以恒定的速 度向一侧运动，到达终端后迅速地回到起始点，然后再从起始点重复进行恒速运动。这样， 用动镜的移动频率来调制通过样品，到达探测器的干涉光束，得到包含样品信息的经过调制 的红外干涉光信号。该信号包含了动镜的移动频率与通过样品的红外光的频率，它们是可以 进行傅立叶变换的一对变量，因此，通过进行傅立叶变换，可以得到光强随红外光频率的变 化，即红外光谱。 F动镜 F 动镜 O 光源 M 分束器 样品 探测器 图 7.2 Michelson 干涉仪示意图 FT-IR 光谱测量的是物质在红外波段的吸收谱，因此要求 FTIR 光谱仪的光源能够覆盖需要测量的红外波段。目前采用的光源还没有能够覆盖从远红外（ 400－10cm-1）、中红外 （4000－400cm-1）、到近红外（15000－4000cm-1）的全部红外波段，在不同的波段应用时，要采用不同的光源。远红外由于能量低，常用的光源功率很大，需要风冷或水冷装置，如硅碳棒光源、高压汞灯等；中红外的光源有水冷却硅碳棒光源、需要风冷的金属丝光源和金属 陶瓷光源等；近红外波段的常用光源为卤钨灯。对于 FTIR 光谱仪的现场应用来说，需要复杂冷却装置的光源是一个不利的因素。 二.操作方法及数据处理 由于鹿儿岛的 FT-IR 机器已经坏了，所以我们没有得到实际操作的机会，这部分内容暂缺，等上海的机器运到进行实际操作以后补上。 三.检测方法流程 当需要对膜的氢含量进行检测的时候，整个基本流程如下。 硅片洗净 硅片洗净 随基板进行成膜 用 FT-IR 进行测试 测量得到数据以后就可以和管理规格进行对比，判断是否有问题，并进而找到问题原因。 四.氢元素含有量管理规格 Ｇ-ＳｉＮｘ ａ-Ｓｉ ｎ+ａ-Ｓｉ 結合Ｎ－ Ｈ Ｓｉ－ Ｈ Ｓｉ－ Ｈ Ｓｉ＝ Ｈ2 Ｓｉ－ Ｈ Ｓｉ＝ Ｈ2 ａｔｍ/ｃｍ3 2.5～ 3.5E 22 0.5～ 1.5E 22 0.5～ 1.0E 22 0.00～ 0.05E 22 0.7～ 1.5E 22 0.2～ 0.5E 22