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? 2014 天马微电子股份有限公司. All rights reserved * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * MSA基础知识讲解 * 目录 Directory MSA简介 1 测量数据五种类型 3 什么是MSA MSA的重要性 什么情况下做MSA 测量值的组成因素 低质量数据的因素和影响 过程波动的主要来源 MSA变差的因果分析 MSA分析方法 4 误差的来源 2 偏倚 线性 稳定性 重复性 再线性 计量型MSA 计数型MSA M: 指Measurement 测量 S: 指System 系统 A: 指 Analysis 分析 MSA也就是对量测系统进行分析的方法! MSA简介 用来获得表示产品或过程特性的数值的系统，称之为测量 系统。测量系统是与测量结果有关的仪器、设备、软件、测 量程序、测量人员、被测物品和环境的集合。 什么是MSA? MSA简介 2.MSA 的重要性 如果测量的方式不对，那么好的结果可能被测为坏的结果，坏的结果也可能被测为好的结果，此时便不能得到真正的产品或过程特性。 因此要保证测量结果的准确性和可信度。 过程 原料 人 机 法 环 測量 測量 结果 好 不好 測量 MSA简介 新生产的产品存在较大的产品变差（PV）; 引进新仪器时（EV）; 测量操作更换新的人员时（AV）; 易损耗之仪器必须注意其分析频率 ; 3.什么情况下做MSA MSA术语 测量：赋值给具体事物以表示他们之间的关系，而赋予的值定义为测量值。 量具：任何用来获得测量结果的装置，经常特指用在车间的装置，包括用来测量合格/不合格的装置。 测量系统：用来对被测量特性的赋值的操作、程序、量具、设备、软件、以及操作人员的集合 误差的来源 通过测量用数字体现的数据，并不是总能代表事实。 因此，有必要对数据的信赖性进行确认。 ＋ = 真实值 (实际产品变差) 测量误差 (测量变差 ) 测量值 (观察的变差) 1.测量值的组成要素 误差的来源 ?低质量数据的普遍原因之一是变差太大 ?一组数据中的变差多是由于测量系统及其环境的相互作用造成的。 ?如果相互作用产生的变差过大，那么数据的质量会太低，从而造成测量数据无法利用。如：具有较大变差的测量系统可能不适合用于分析制造过程，因为测量系统的变差可能掩盖制造过程的变差。 2.低质量数据的原因和影响 Not Accuracy or Precise Accurate but not precise Precise but not Accurate Accurate and precise 误差的来源 要观察测量误差的主要原因, “重复性(repeatability)” 和“再现性(reproducibility)”. 要想解决实际过程的波动，应把握测量系统的波动，并把它与过程波动分离. 稳定性 线性 长期 过程波动 短期 过程波动 样品的 波动 实际过程波动 重复性 校正 测量仪器波动 作业者波动 (再现性) 测量波动 观察到的过程波动 3.过程波动的主要来源 误差的来源 E n v i r o n m e 设备不稳定性 测量仪器 环境 方法 配件磨损 电力不稳定性 标准次序 测量系统变差 湿度 清洁度 震动 电压变化 气温变化 材料 测量者 灰尘/噪音 标准材料 量产材料 良品材料 不良材料 保管/管理 感觉,气氛 熟练度 测量位置 测量次数 测量条件 4.MSA变差的因果分析 测量数据五种类型 偏倚 观测的平均值 被测量的产品的特性值、过程参数等。它们的变化会影响偏倚。这个变差是我们最关注的，测量系统对它们越敏感越好。 BIAS — 测量结果的平均值与基准值的差异. 基准值（reference-value）是一个预先认定的参考标准. 该标准可用更高一级测量系统测量的平均值来确定(例如：高一级计量室) 仪器 1 : 线形性有问题. 测量单位 0 仪器 2 : 线形性没有问题. 0 测量单位 线性是指量具在其工作范围内偏倚的变化规律。 在全部测量范围内，测量值和基准值的差异保持稳定，说明其 　线性好。 测量数据五种类型 线性 时间2 时间 1 时间 1 时间 2 真实值 真实值 稳定性 不好 时间 3 时间 3 是指随时间变化的偏倚值。 根据时间的推移测量结果互不相同时，说明该测量系统缺乏稳定性。 测量数据五种类型 稳定性 测量系统在某持续时间内测量同一样本或产品的单一特性时获得的测量值总