碳化硅衬底减薄用钻石液及其应用.pdfVIP

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2023-06-28 发布于四川
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本发明公开了一种碳化硅衬底减薄用钻石液及其应用，涉及研磨材料，旨在解决若不放置支撑基底，由于磨料颗粒在无支撑条件下容易碎，而影响抛光研磨的效果，其技术方案要点是：由以下重量百分比的组分组成：金刚石磨料40‑65wt％；分散稳定剂0.1‑5wt％；强氧化剂0.1‑5wt％；表面活性剂0.02‑0.03wt％；湿润剂1‑3wt％；其余为去离子水。本发明金刚石磨料中的磨料微粉由于其分散均匀，进而所受研磨的力道一致均匀，可在无树脂衬垫的支撑作用下，保障磨料微粉的抗破裂能力，提高碳化硅衬底减薄用钻石液的研

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116333602 A (43)申请公布日 2023.06.27 (21)申请号 202310160715.2 (22)申请日 2023.02.20 (71)申请人绍兴自远磨具有限公司地址 31