一种提高探针与晶圆测试点接触精度的方法及设备.pdfVIP

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2023-06-29 发布于四川
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一种提高探针与晶圆测试点接触精度的方法及设备.pdf

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本申请涉及一种提高探针与晶圆测试点接触精度的方法，其包括以下步骤：在世界坐标系中锚定第一标识点并建立第一坐标系；使晶圆盘上的各测试点逐个与第一标识点对位，计算得到各测试点在第一坐标系上的坐标集合[Xa,Ya]；锚定第二标识点于晶圆盘，移动晶圆盘以使第一标识点和第二标识点相对位；在世界坐标系中基于第二标识点的位置建立第二坐标系；使第二标识点逐个与探针卡上的探针点对位，计算得到各探针点在第二坐标系上的坐标集合[Xb,Yb]；计算坐标集合[Xa,Ya]与坐标集合[Xb,Yb]的变换矩阵，确定各个探针点

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113687215 A (43)申请公布日 2021.11.23 (21)申请号 202110893589.2 (22)申请日 2021.08.04 (71)申请人深圳市森美协尔科技有限公司