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- 2023-06-30 发布于四川
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本发明公开了一种冷壁反应器，包括冷壁反应器箱体和成品收集箱，所述冷壁反应器箱体的内部安装有石墨坩埚，所述石墨坩埚内盛装有固体原料，所述冷壁反应器箱体的侧壁上贯穿安装有固体原料进料管道、气体原料进料管道、等离子枪，所述固体原料进料管道、气体原料进料管道均延伸至石墨坩埚内且位于上方，所述等离子枪位于石墨坩埚的上方，所述气体原料进料管道内设有通入冷壁反应器箱体内的气体原料，所述冷壁反应器箱体的上端安装有反应器尾气出气口，所述冷壁反应器箱体的底部安装有底部出料管道，所述出料管道通过输送管与收集箱进料管道
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113680299 A
(43)申请公布日 2021.11.23
(21)申请号 202111023867.5
(22)申请日 2021.09.02
(71)申请人 青岛
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