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2. 微悬臂和针尖的结构形式 粘结针尖的矩形薄片微悬臂 用金属丝制成的微悬臂和针尖 V形薄片微悬臂 带金字塔形针尖的一体化的V形薄片微悬臂 V形薄片微悬臂(C.Quate) (137 μm×100 μm) 第二十九页，共五十页，2022年，8月28日 a)玻璃基板带4个微悬臂 b)单个带针尖的V形微悬臂 c)金字塔形针尖 (1.75 mm×1.30 mm) (142 μm×105 μm) (4.2 μm×3.2 μm) 带金字塔形针尖的Si3N4一体化V形薄片微悬臂(C.Quate) 第三十页，共五十页，2022年，8月28日 5) 带圆锥形针尖的一体化的V形薄片微悬臂 带圆锥针尖V形SiO2微悬臂制造过程 带针尖的微悬臂(50 μm×36 μm) 圆锥形针尖(6.25 μm×4.5 μm) 带圆锥形针尖的SiO2一体化V形薄片微悬臂(C.Quate) 第三十一页，共五十页，2022年，8月28日 6) 粘晶须针尖的微悬臂 晶须 气体源 1μm a) 晶须 b) 晶须生长 GaAs晶须及其沉积生长过程 V形微悬臂上用环氧树脂粘ZnO晶须针尖 第三十二页，共五十页，2022年，8月28日 7) 碳纳米管