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本发明属于高精度测量技术领域,特指一种环形工件的测量系统及对心方法,该测量系统包括XY定位平台、旋转台、XY手调台以及距离传感器,XY定位平台用于环形工件在X方向和Y方向上的移动以及定位;旋转台设置在XY定位平台上,用于环形工件的旋转;XY手调台设置在旋转台上,用于微调环形工件的X方向和Y方向位置;距离传感器用于测量距离传感器到环形工件内壁或者外壁的距离。本发明的距离传感器用于检测其到环形工件内外壁的距离,通过最小测量值位置可以计算环形工件中心的偏移量,然后通过XY手调台分别消除在XY方向的偏移
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113720272 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202111011068.6
(22)申请日 2021.08.31
(71)申请人 浙江大学
地址 31
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