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用于控制微电子装置中的介电强度的层状电介质材料,尤其是当电子装置涉及电泳和电润湿应用时。具体地,第一原子层沉积(ALD)步骤、溅射步骤和第二ALD步骤的组合产生化学稳健且几乎无针孔的层。介电层可以布置在电泳显示器的透明公共电极上或覆盖像素化背板电极,或两者。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113767329 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202080031796.0 (74)专利代理机构 北京泛华伟业知识产权代理
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