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本发明提供一种柔性氮化镓光电探测器激光快速制备方法，包括以下步骤：(1)将柔性衬底与氮化镓外延片贴合；(2)调节光束焦平面位置，并保证光束从氮化镓外延片衬底一侧入射；(3)使光束从步骤(1)所得样品结构的边缘开始进行扫描辐照；(4)调整工艺参数，沿步骤(3)所述路径反方向扫描辐照；(5)取下外延片原始刚性透明衬底，获得Ga金属纳米颗粒/氮化镓薄膜/柔性衬底结构；(6)对步骤(5)所得Ga金属纳米颗粒表面制备叉指电极。本发明采用激光技术一步制备出具有Ga金属纳米颗粒原位分布探测表面的柔性氮化镓光电
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113770512 B
(45)授权公告日 2022.05.17
(21)申请号 202110883036.9 H01L 31/18 (2006.01)
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