原创力文档- 0
- 0
- 约8.35千字
- 约 10页
- 2023-07-05 发布于四川
- 举报
本发明涉及一种基带RF一体化集成结构及集成方法。其包括基带芯片逻辑器件和射频器件；基带芯片逻辑器件采用FinFET结构；射频器件采用平面场效应晶体管；射频器件集成于基带芯片的上方，并且通过层间介质隔离；层间介质中设有通孔，使射频器件与基带芯片逻辑器件互连。集成方法包括：提供具有FinFET结构的基带芯片逻辑器件；在基带芯片逻辑器件上方形成层间介质层；形成半导体层；制作平面场效应晶体管，形成射频器件；刻蚀通孔，填充、金属化，使器件互连。本发明采用单片三维工艺集成，二者的物理距离大大缩短，提高了信号
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113809070 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110918277.2
(22)申请日 2021.08.11
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
您可能关注的文档
- 高压绕组是层式绕组的壳式变压器.pdf
- 一种U形呼排管的充氮密封装置及使用方法.pdf
- 一种铝单板幕墙切割机.pdf
- 一种废旧树脂基复合材料玻璃钢回收工艺.pdf
- 利用位置信息在非破坏性测试系统中协作的系统和方法.pdf
- 高大空间铝单板彩绘集成吊顶系统的施工方法.pdf
- 一种基于编解码结构的图像语义分割方法.pdf
- 一种Micro-LED制备方法.pdf
- 一种提高吸声能力的背腔穿孔隔板喷嘴.pdf
- 一种基于CTC仿真实训流程的参数动态计算方法及装置.pdf
- 第一节 电阻和变阻器(讲义)物理沪科版2024九年级全一册.docx
- 第3节 质量的测量 (讲义) 物理沪科版(五四学制)2024 八年级上册.docx
- 第14讲 圆周运动（复习讲义）高考物理一轮复习.docx
- 暑假预习专题15 指数函数（20题型）新高一数学讲义（沪教版2020）.docx
- 第二节 发电机是怎样工作的（讲义）物理沪科版2024九年级全一册.docx
- 4.18 东晋南朝政治和江南地区开发 教学设计 部编版七年级上学期历史.docx
- 2.5实验：用单摆测量重力加速度（表格式教学设计）物理人教版2019选择性必修第一册.docx
- 第49讲 沉淀溶解平衡及图像分析（讲义）高考化学复习讲义（新教材新高考）.docx
- 旅游景区行业分析报告：内外兼修，多元创新.pdf
- Unit 1~2 单元语法知识点梳理 高二下学期期中考点（上教版2020选择性必修第二册）.pptx
文档评论（0）