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金属氧化物晶体管、显示面板及显示装置.pdfVIP

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  • 2023-07-05 发布于四川
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金属氧化物晶体管、显示面板及显示装置.pdf

    本发明实施例提供了一种金属氧化物晶体管、显示面板及显示装置，涉及显示技术领域，使金属氧化物晶体管兼具低关态漏流和高电导率的特性。金属氧化物晶体管包括第一栅极、有源层、第二栅极和源漏极，有源层包括多个子有源层，子有源层包括金属氧化物，子有源层包括半导体区；多个子有源层包括第一子有源层、第二子有源层和第三子有源层，第一子有源层位于第二子有源层与第一栅极之间，第三子有源层位于第二子有源层与第二栅极之间；第一子有源层中半导体区氧离子掺杂浓度为CO_1，第二子有源层中半导体区氧离子掺杂浓度为CO_2，第三

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113809163 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202111095278.8 H01L 27/32 (2006.01) (22)申请日 2

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